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應(yīng)用領(lǐng)域:

IC fab, wafer manufacturing, solar cell, LED, MEMS, FPD, photonics.

設(shè)備特性: 

1. Four Dimensions 提供從手動到全自動的系列四探針測試儀。

2. 產(chǎn)品質(zhì)量高, 應(yīng)用廣, 在全球市場享有很高聲譽和市場占有率。

3. 可測量離子注入層、外延層及各種薄膜的方塊電阻，并由此導(dǎo)出電阻系數(shù)、薄膜厚度、離子注入劑量。

4. 可具有高達12”直徑自動 mapping 功能。

5. 精度高, 測量范圍極廣. Sheet resistance 可達 1E-3 to 8E+11 ohm/sq.